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提供从器件研发到批量生产的全流程装备解决方案
质子交换炉
基于双温区协同机制，在铌酸锂等光学材料中实现质子交换反应，形成低损耗集成光波导结构，支撑高速光子器件制造
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卧式氧化扩散退火炉
集成氧化、扩散、退火多功能工艺，支持硅基及宽禁带半导体材料的掺杂调控、界面优化与结构成型，服务晶圆量产核心制程。
卧式LPCVD
通过低压化学气相沉积技术在基片表面反应生成氮化硅、掺杂多晶硅等固体薄膜，满足器件介质封装与钝化层的大产能沉积需求。
磁控溅射镀膜机
采用先进PVD技术，通过严格控制薄膜厚度与均匀性，高效沉积高致密、强结合力、超高纯净度的功能薄膜，精准满足工艺需求。
管式热工设备 立式炉
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管式热工设备 卧式炉
专为科研机构和高校设计的小批量高精度设备，支持氧化、扩散、退火、LPCVD 等工艺，兼具生产、实验教学与工艺开发功能。
