质子交换炉
产品概述
基于双温区协同机制，在铌酸锂等光学材料中实现质子交换反应，形成低损耗集成光波导结构，支撑高速光子器件制造。
产品特点
双管立式紧凑结构：节省空间的同时支持双工艺管并行作业，提升效率。
高精度温度均匀控制：针对铌酸锂等材料特性，实现热处理过程的精准控温。
自动化工艺管理：设备集成智能系统，适配高环境要求的质子交换工艺。
技术指标
晶圆尺寸： 4英寸(兼容3英寸、2英寸)
温度范围：200°C-300°C
恒温区长度及精度：≤1°C/300mm
适用材料： 铌酸锂
应用场景
适用材料：4 英寸及更小尺寸的铌酸锂晶片。
适用工艺：质子交换工艺（200℃-300℃）、高环境要求的材料热处理。
适用领域：光电器件、传感器基底材料处理。
产品类别
工业版
关键词
半导体装备
