国产“芯”突破｜艾科威VCSEL氧化炉，打破国外垄断，撑起中国半导体装备底气
2026年02月05日
在半导体光电子产业的赛道上，VCSEL（垂直腔面发射激光器）被誉为“光电子核心器件的心脏”，广泛应用于光通信、3D传感、激光显示、车载激光雷达等关键领域，而其制造过程中最关键的侧氧工艺，长期以来被国外高端装备牢牢垄断，成为制约国产VCSEL产业自主可控的“卡脖子”痛点。
进口设备采购成本高、交付周期长，售后响应滞后更可能拖累整条生产线，国内企业长期陷入“依赖进口、受制于人”的困境。如今，这一困局被艾科威半导体彻底打破——国内第一台可用于VCSEL侧氧工艺的完全国产低温立式氧化炉正式落地，以硬核技术实力填补国内高端氧化设备空白，让国产VCSEL芯片制造终于有了“中国装备”的坚实支撑。
01 硬核创新/ FUTURE
艾科威VCSEL氧化炉并非简单的“国产化替代”，而是全方位技术超越。作为完全国产成果，该设备在技术、结构、工艺适配及性能上实现多重突破，全面提升国产低温氧化炉性能指标，核心参数达国际领先水平。
VCSEL侧氧工艺中，温度稳定性和氧化均匀性直接决定器件光电性能，微小温度波动便可能导致器件失效。艾科威研发团队深耕十余载，打造两大核心技术壁垒攻克这一难点：
其一，基于热流耦合仿真的多温区独立温控结合闭环反馈调节技术，搭配高纯度石英与碳化硅复合反应腔室，解决传统腔体短板、避免芯片污染，实现炉内温度精准把控；其二，自主研发的动态热场波动补偿自适应PID算法，可实时抵消外界干扰，使温控精度稳定在±0.5℃、氧化均匀性达±3%以内，两项核心指标实现重大突破。
经过上百次腔体优化、上千次温控调试，该设备稳定性、效率与工艺一致性达国际顶尖水平，通过ISO9001与SEMIS2双重认证，完成国内企业量产验证，单批次效率优于进口设备，综合使用成本大幅降低，真正实现“国产造、更优质、更经济”。
02 精准适配/ FUTURE
作为专为VCSEL器件开发的专用装备，艾科威VCSEL氧化炉可高效适配VCSEL湿氧工艺，通过湿法氧化工艺在300°C-500°C可控湿度环境下，为VCSEL器件构建致密的光学限制层与电学绝缘结构，精准实现光场与电流的双重限制，显著提升器件性能与可靠性，同时兼容通用晶圆表面钝化处理，满足光电与半导体器件的双重工艺需求。
依托其卓越的工艺表现，该设备已深度融入国产半导体产业链，覆盖光通信、激光显示、3D传感等多个核心赛道，更延伸至车载激光雷达、生物医疗检测等新兴领域。
01 光通信领域： / Innovate he future
适配850nm VCSEL芯片制造，助力短距互连（SR场景）实现自主可控，支撑5G通信产业升级；
02 3D传感领域 / Innovate he future
为手机人脸识别、自动驾驶感知等场景提供核心工艺支撑，提升传感精度与稳定性；
03 激光显示领域 / Innovate he future
优化VCSEL器件发光性能，助力激光电视、激光投影等产品实现更高画质、更低功耗；
04 科研领域 / CREATE A LIFE
服务半导体领域“双一流”高校和科研院所，为VCSEL器件研发提供可靠的实验装备支撑。
目前，艾科威VCSEL氧化炉已服务华为、中车、中电科等300+行业龙头企业，凭借稳定的性能与优质的服务，成为国产VCSEL产业量产与科研的首选装备，更凭借“首台套国产高性能VCSEL立式湿氧炉的研发与产业化”项目，荣获“长沙银行杯”2025年湖南省（国际）创新创业大赛成长企业组三等奖，彰显中国半导体装备的自主突破实力。
03 国产担当/ FUTURE
半导体装备是产业“母机”，自主可控是高质量发展的前提。艾科威自成立以来，以破解“装备卡脖子”为初心，秉持“匠心品质 追求极致”精神，汇聚国内顶尖科研力量，构建全领域研发生产能力，累计拿下60+项专利及软著，用十余年沉淀实现从“跟跑”到“领跑”的跨越。
未来，艾科威将继续坚守“匠心品质 追求极致”的企业精神，以VCSEL氧化炉的技术突破为基座，持续深化“设备+工艺”一体化服务，聚焦更多半导体装备细分领域的“卡脖子”难题，推动成熟技术向海外市场输出，让“湖南智造”的半导体装备走向全球，用自主创新为中国“芯”的安全发展筑牢根基，助力中国半导体产业实现高质量发展，书写国产装备的崛起篇章！
相关新闻
匠心铸芯，苏州启航 —— 艾科威半导体装备（苏州）开业庆典圆满举行
2025年12月24日
国产“芯”突破｜艾科威VCSEL氧化炉，打破国外垄断，撑起中国半导体装备底气
2026年02月06日
2025年12月08日
2025年11月24日
2025年10月28日
2025年10月28日
以执行之力，铸科技之魂：艾科威开启高端半导体设备自主化新篇章
2025年10月15日
2025年09月22日
2025年09月22日
