管式真空炉

管式真空炉是在原有管式炉的基础上，增加真空系统，使客户获得高洁净腔体，提供清洁无杂质的高真空状态，加热温度均匀且能够精确控制，特别适用于半导体器件或其他对环境要求高的材料的退火工艺，工件质量优良，成品率高。

咨询热线：

设备特点

●外形美观，占地面积小

●采用高精度、多功能温控仪，可自动调节与修改PID参数，存储控温曲线并可随时修改、删除以及重新设定，操作简单方便

●具备多项故障显示，报警及连锁保护功能

●炉体可以移动推拉,以加速低温段的降温

技术指标

●适用工艺片尺寸：2~8英寸圆片或方片

●常用工作温度：400～1000℃

●恒温区长度及精度：≤±0.5℃/400~800mm （600～1000℃）；

　　　　　　　　　　≤±1℃/400~800mm （300～600℃）

●最大升温速率: 10℃/min

●极限真空度：≤5×10-3Pa；

●气路系统：氧气、氮气、氩气;

应用范围

　　用于陶瓷电路、传感器烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。

产品推荐

在线留言

全国热线电话

0731-88376310

地址：长沙市望城经济技术开发区普瑞西路858号

手机：13574134080（李经理）15111237996（戴经理）13337218692(陈经理）
传真：0731-88376310