微纳加工平台
湖南艾科威微纳加工暨国产装备验证平台以艾科威自主研发制造的国产半导体工艺设备为依托，致力打造华中地区国产装备示范平台及特色服务模式的公共开放平台。同时搭建和企业、高校联合攻关，集“产、学、研”为一体的创新合作平台。
平台目前拥有300m2工艺实验室面积，已配备了包括薄膜制备、材料刻蚀、膜厚检测等常见的半导体工艺设备及测试仪器，提供相应的工艺研发和科研服务。
平台可根据客户需求和任务性质，提供单步或系列工艺代工，项目负责人可亲自或委派代表经必要培训后在平台进行工艺流程监控或自行完成部分工艺。
平台目前拥有300m2工艺实验室面积，已配备了包括薄膜制备、材料刻蚀、膜厚检测等常见的半导体工艺设备及测试仪器，提供相应的工艺研发和科研服务。
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湖南艾科威半导体装备有限公司微纳加工实验室建有完善的千级洁净室，拥有磁控溅射镀膜设备（MSC）1台，反应离子刻蚀设备（RIE）1台，离子束刻蚀设备（IBE）1台，卧式氧化炉1台，卧式扩散炉1台，立式扩散退火炉1台。 工艺线可以满足硅材料、化合物半导体等材料的芯片加工和表征测试需求。工艺线可以满足微纳加工教学和人才培养及微纳加工技术服务需求。
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