双管立式炉


双管立式炉主要用于光电器件中2~3英寸片的质子交换工艺。

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管式炉系列


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双管立式炉

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本设备可应用于光通信领域的光学波导芯片制作中铌酸锂材料的离子交换,具有温度控制精准、恒温区场范围大、可编程自动控制和超温自动断电保护等特点。
温控范围:室温-500℃
温度精度:±1℃
恒温区横向长度:100cm-400cm
恒温区径向长度:100cm-150cm
炉管材料:高纯石英

 

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