卧式真空炉


卧式真空炉是真空技术与电炉加热技术相结合的热处理设备,应用于半导体芯片烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。

所属分类:

热处理设备


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卧式真空炉

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设备特点
●实行双向通讯监控,以菜单、图表、曲线、动态界面等形式显示相关内容
●全工位动态模拟显示,触摸屏操作
●炉体采用夹层水冷结构,外壁温度低,保证安全
 
技术指标
●极限真空度:在空载冷炉条件下≤7×10-4Pa。
●排气时间:在空载冷炉条件下,扩散泵经预热后,从大气压到获得3×10-3Pa真空的时间不大于15min
●有效热区尺寸:长×宽×高=450×305×305 mm3
●最大装炉量:40kg
●最高工作温度:960℃
●工作温度范围及精度:500-800℃≤±6℃(500-900,3点测温)
●在装炉量40kg条件下,工件从室温加热至900℃的时间≤40min
●保护功能:具有超温、断偶、断水报警指示
 
应用范围
  半导体芯片烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。
 

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